芯片生产车间(半导体厂)属于超高洁净等级环境(洁净室等级Class 100 ~ Class 1 甚至更.高),对设备用电动推杆(电动缸、直线执行器)有严格要求,以下是符合芯片生产环境的电动推杆核心要求:
一、材质和表面处理要求
全不锈钢材质(304 / 316L)或阳极氧化铝,耐受腐蚀、防锈
表面须高精度抛光或镜面处理,避免积尘
外壳无涂层脱落风险
密闭设计,避免润滑脂、粉尘、碎屑外泄
二、洁净度和防护等级
满足 ISO Class 5(100级)甚至 Class 4(10级)洁净室环境
IP65 以上防护等级(推荐IP67)
采用食品.级或洁净室专用润滑脂,无挥发性污染(低VOC)
电机及传动部件封闭,防止碳刷粉尘或润滑剂泄漏
三、驱动及控制要求
推荐无刷伺服电机(减少碳刷粉尘)
支持高精度位置控制(0.01mm级)
行程限位、力矩保护、过载保护完整支持闭环反馈(编码器或光栅尺)
四、其他特性
低噪音设计(≤50dB)
抗震动、耐受高温、抗腐蚀
可接受定制法兰或连接件,满足无尘环境下快速拆装需求
资料全,能提供:
洁净认证(如ISO14644测试报告)
材质报告
电气安全认证(CE、UL)